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半导体微电子行业制程以及生产设备与空气中气体化学分子污染物接触产生那些后果？

更新时间：2025-09-15

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　　半导体微电子行业制程以及生产设备与空气中气体化学分子污染物接触产生那些后果？

　　把晶圆、LCD或者OLED的基板长时间暴露在洁净室大环境中会导致空气中化学气态污染物粘附在基本表面，导致大幅度降低产品良率以及产品性能，增加成本，因此必须祛除挥发性有机、无机化合物以及空气中其它颗粒物

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