气态化学污染物危害性以及解决方案

更新时间：2025-08-27

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　　气态化学污染物危害性以及解决方案

　　1、半导体行业0.25微米生产工艺中气态化学污染物的浓度必须控制<5ppt,如果气态污染物浓度>5ppt导致半导体层间结合失效;导致HEPA过滤器降解，比如滤料释放出硼;导致两道制程之间的结合界面高电阻;导致晶元或者光学透镜表面沉积雾状。

　　2、依据行业环境控制流程可以在新风系统、空气循环系统、末端FFU或者局部自动化设备上的EFU配置化学过滤器。

　　3、优佳的气态污染物解决方案可以起到如下作用:

　　延长维护周期;增强产品的可靠性和寿命;强化制程控制、增强产品优良率;提高电子和机械的性能;优化生产控制。

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