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净化车间洁净度检测标准及要求

更新时间:2023-04-24      点击次数:4605
  净化车间洁净度检测标准及要求。
 
  一、定义:
 
  洁净室(clean room)又称无尘室,是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、湿度控制在某一要求的房间。
 
  二、范围:
 
  本标准规定了电子工业用洁净室的术语和定义;对电子工业用的洁净室环境条件作了规定;并对电子工业用空气净化系统及其性能指标作了规定。
 
  洁净室定义洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间,其建造和使用方式可最大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控(ISO 14644-6)。2.洁净室的四大技术要求一、送风至少经过三级过滤(粗效、中效和高效),并且高效过滤器应设置在系统的末端。
 
  二、洁净室应有足够的净化和空调的送风量。
 
  三、洁净室应维持必要的压力梯度(正压梯度或负压梯度)。
 
  四、洁净室应有合理的气流组织。3.洁净室的分类按气流流型洁净室可划分为:
 
  ▲ 单向流洁净室
 
  1、单向流(层流)洁净室,其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。2、单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理,把尘埃粒子从一端向另一端挤压出去,用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流两种气流流型。
 
  垂直单向流是洁净的气流以一定的速度(0.25m/s~0.5m/s)从顶部流向地面的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净度级别。但其初投资很高、运行费很高,工程中尽量将其面积压缩到最小,应用到关键的必须用的部位。
 
  水平单向流是洁净的气流以一定的速度(0.3m/s~0.5m/s)从送风墙流向对面的回风墙的气流流型。该气流可创造100级的洁净度级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。
 

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